微波等離子體是在大氣壓環(huán)境下產(chǎn)生的一種微等離子體,它被廣泛應用于氣相色譜中原子發(fā)射光譜激發(fā)源。微波帶技術的使用不僅可以將微波指向間隙區(qū),同時也減少了不必要的外空間輻射損失,有利于耦合效率的提高,從而獲得高密度等離子體。那么微波等離子體的優(yōu)勢有哪些呢?1.有較高的電離和分解程度;2.電子溫度和離子溫度對中性氣體溫度之比非常高,運載氣體保持合適的溫度。這個特性,在氣相沉積的情況下,可使基底的溫度不會過高;3.能在高氣壓下維持等離子體;4.沒有內(nèi)部電極,在等離子容器內(nèi),沒有工作氣體...
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